Oktober 2005
Vakuum-Spannplatte für Wafer
Sehr präzise Vakuumspannplatten aus luftdurchlässigem Aluminium, deren Ober- und Unterseiten plan bearbeitet wurden. Diese Chucks werden zum Messen von Wafern eingesetzt. Die fünf Spannbereiche ermöglichen das Halten fünf unterschiedlicher Wafer-Größen. Die Toleranz beträgt 0,005mm (5 µm).
; "Vakuumspannplatte für Wafer")